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單晶硅差壓變送器

發(fā)布時(shí)間：2025-03-07 瀏覽次數(shù)：

隨著微電子機(jī)械加工系統(tǒng)技術(shù)的日趨成熟而為傳感器行業(yè)帶來(lái)一場(chǎng)新的革命，對(duì)于壓力、差壓、液位傳感器而言，其封裝的傳感器芯片本質(zhì)將決定最終產(chǎn)品的性能與等級(jí)。以目前國(guó)際市場(chǎng)上廣泛采用的硅芯片技術(shù)而言，硅壓阻技術(shù)加工工藝成熟，但其信噪比特性與溫度特性有待提高；硅諧振技術(shù)加工工藝復(fù)雜過(guò)壓特性不好；本公司提供的3351J系列單晶硅差壓變送器芯片采用純度高的單晶硅材質(zhì)，其材質(zhì)特性優(yōu)于市場(chǎng)上通用的復(fù)合硅、擴(kuò)散硅材料，芯片采用單晶硅雙梁懸浮式技術(shù)，結(jié)合了硅壓阻與硅諧振技術(shù)雙方特點(diǎn)，并從工藝上做出了優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)精度高、穩(wěn)定性好、低溫度影響、過(guò)壓保護(hù)等優(yōu)異性能，完全適用于工業(yè)過(guò)程控制、自動(dòng)化制造、航天航空、汽車與船舶、醫(yī)療衛(wèi)生等多個(gè)領(lǐng)域。
一、單晶硅差壓變送器性能特點(diǎn)：
1、單晶硅材質(zhì)，有效提高產(chǎn)品壽命及長(zhǎng)期穩(wěn)定性
2、雙惠斯通電橋設(shè)計(jì)，“雙梁”電阻溫度特性互補(bǔ)，提高芯片抗干擾能力
3、LCD帶背光顯示數(shù)字表頭可以顯示壓力、百分比和電流及0~100%模擬指示
4、通過(guò)按鍵組合操作能實(shí)現(xiàn)調(diào)零和調(diào)滿功能，以及數(shù)據(jù)恢復(fù)功能，方便了現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試
5、信號(hào)轉(zhuǎn)換、信號(hào)采集與處理及電流輸出控制采用了一體化專用集成電路（ASICS）使智能變送器具有穩(wěn)定好、性能可靠、抗震性好等特點(diǎn)，并具有良好的互換性
二、單晶硅差壓變送器技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號(hào)：ZH3351JDP-單晶硅差壓變送器 ZH3351JDR-單晶硅微差壓變送器
測(cè)量原理：?jiǎn)尉Ч钁腋∈?span lang="EN-US">
適用場(chǎng)合：水壓、油壓、氣壓、負(fù)壓
測(cè)量范圍：-400~400kPa量程可選
測(cè)量精度：±0.1%；±0.075%
電源：DC10.5~45V
輸出：DC4~20mA+HART
三、單晶硅差壓變送器產(chǎn)品選型：

ZH3351JDR	微差壓變送器
ZH3351JDP	差壓變送器
量程范圍		代碼	量程單位
			KPa		InH2O			mBar		mmH2O
			（根據(jù)以下表格中選取代碼）
輸出信號(hào)			S	4~20Ma+HART協(xié)議
			T	特殊要求
精度等級(jí)				I75		0.075%±
				I1		0.1%±
				I2		0.25%±
顯示方式						M3	液晶顯示
連接型式及尺寸							C2	丁字形螺紋接頭M20×1.5，帶Ф14焊接引壓管（GP型）
							SF	配三閥組
							Y	用戶約定
安裝支架型式（GP型）								B1	管裝彎支架
								B2	板裝彎支架
								B3	管裝平支架
隔爆等級(jí)									B		ExdiiCT6

四、工作壓力：

型號(hào)	膜盒	工作壓力
DR微差壓變送器	DR1（1KPa）	1.5MPa
DR微差壓變送器	DR2（6KPa）	2MPa
DP中靜壓差壓變送器	M1~M6	25MPa
DX大量程差壓變送器	L1（2MPa）	25MPa
	L2（4MPa）	20MPa
	L3（10MPa）	20MPa
HP高靜壓差壓變送器	HP1~HP6	40MPa
DPS低靜壓差壓變送器	S1（10KPa）	2MPa
	S2（20KPa）	3.5MPa
	S3（40KPa）	3.5MPa
	S4（100KPa）	7MPa
	S5（200KPa）	7MPa
	S6（500KPa）	7MPa

五、壓力量程選擇：
5-1DPS低靜壓差壓變送器：

量程/范圍		KPa	inH2O	mBar	mmH2O
S1	量程	0.5~10	2~40	5~100	50~1000
S1	范圍	-10~10	-40~40	-100~100	-1000~1000
S2	量程	1~20	4~80	10~200	100~2000
S2	范圍	-20~20	-80~80	-200~200	-2000~2000
S3	量程	1~40	4~160	10~400	100~4000
S3	范圍	-40~40	-160~160	-400~400	-4000~4000
S4	量程	1~100	4~400	10~1000	100~10000
S4	范圍	-100~100	-400~400	-1000~1000	-10000~10000
S5	量程	2~200	8~800	20~2000	200~20000
S5	范圍	-200~200	-800~800	-2000~2000	-20000~20000
S6	量程	5~500	20~2000	50~5000	500~50000
S6	范圍	-500~500	-2000~2000	-5000~5000	-50000~50000

5-2DX大量程差壓變送器：

量程/范圍		MPa	inH2O	mBar	mmH2O
L1	量程	0.02~2	0.08×10³~8×10³	0.2×10³~20×10³	2×10³~200×10³
L1	范圍	-2~2	-8×10³~8×10³	-20×10³~20×10³	-200×10³~200×10³
L2	量程	1~20	0.16×10³~16×10³	0.4×10³~40×10³	4×10³~400×10³
L2	范圍	-20~20	-16×10³~16×10³	-40×10³~40×10³	-400×10³~400×10³
L3	量程	1~40	0.4×10³~40×10³	1×10³~100×10³	10×10³~1000×10³
L3	范圍	-40~40	-40×10³~40×10³	-100×10³~100×10³	-1000×10³~1000×10³

5-3HP高靜壓差壓變送器：

量程/范圍		KPa	inH2O	mBar	mmH2O
HP1	量程	0.5~10	2~40	5~100	50~1000
HP1	范圍	-10~10	-40~40	-100~100	-1000~1000
HP2	量程	1~20	4~80	10~200	100~2000
HP2	范圍	-20~20	-80~80	-200~200	-2000~2000
HP3	量程	1~40	4~160	10~400	100~4000
HP3	范圍	-40~40	-160~160	-400~400	-4000~4000
HP4	量程	1~100	4~400	10~1000	100~10000
HP4	范圍	-100~100	-400~400	-1000~1000	-10000~10000
HP5	量程	2~200	8~800	20~2000	200~20000
HP5	范圍	-200~200	-800~800	-2000~2000	-20000~20000
HP6	量程	5~500	20~2000	50~5000	500~50000
HP6	范圍	-500~500	-2000~2000	-5000~5000	-50000~50000

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